由于在测量薄膜参数(如厚度、电阻率和应力)方面的应用范围不断扩大,全球薄膜计量系统市场在过去几年里见证了显著的增长。半导体集成化和小型化需求的增加是在预测期内推动市场的关键因素。在单个设备上添加功能的高级集成导致了IC的小型化,预计这将在预测期内激增对薄膜计量系统的需求。薄膜计量系统被广泛用于提高半导体制造过程的效率。由于电子工业对半导体器件的需求不断增加,预计该市场将在未来7年见证利润丰厚的增长。此外,电子行业的强劲增长很可能与预测期间的市场增长相辅相成。这些系统已经在制造复杂的半导体集成电路中得到了应用。集成电路的广泛应用基础导致了3D和FinFET等复杂体系结构的引入。这将进一步促进薄膜计量系统的需求。然而,半导体行业的需求波动是关键挑战,预计这将抑制未来7年的市场。
主要薄膜计量包括不透明薄膜、透明薄膜和厚薄膜等。不透明薄膜计量法使用声波来测量薄膜厚度。声波感应和回声探测之间的时间直接提供了薄膜的厚度。透明薄膜计量是利用x射线在多个角度和波长上测量薄膜的厚度。这种计量方法由于其准确性和低维护成本而被广泛使用。
薄膜计量系统市场中使用的各种技术包括光谱反射法、椭圆偏振法、轮廓测量法和x射线分析。这些技术在复杂半导体器件的生产中起着关键作用,如晶体管、先进的存储芯片器件、主板和许多其他器件。薄膜计量系统在这些应用中被广泛使用,以保持生产过程的均匀性。由于在半导体制造过程中的广泛应用基础,电子电气行业是2013年薄膜计量系统的最大终端使用市场。预计该行业的技术进步将进一步推动市场。由于薄膜测量系统在光谱仪、光源、反射探头、软件和其他电子附件中的应用范围不断扩大,预计在未来7年,该市场将见证利润丰厚的增长。由于薄膜计量系统在测量纳米材料参数(如厚度、电阻率和应力)方面的大量应用,纳米技术是该市场的第二大产业。
Rudolph Technologies、KLA-Tencor和nanomeics等大公司都参与了研发活动,以在该市场开发更好的技术和产品。该市场的一些关键技术供应商包括Hitachi High-Technologies, Nova measurement Instruments, SCREEN Holdings和Semilab。