预计全球晶圆清洗设备市场在未来几年将以可观的复合年增长率发展。组件(如微机电系统, pcb,存储设备,集成电路和半导体晶片是任何电子设备的基本组成部分。电子器件的性能主要取决于各个部件的性能。此外,由于这些部件相对较小,杂质对它们的可靠性和性能影响很大。微电子清洁在任何电子设备的高效工作中扮演着重要的角色,这将在预测期内促进半导体行业需求的增长。
晶圆清洗已成为制造半导体器件,特别是先进超大规模硅电路中最关键的操作之一。在过去的几年里,通过表面调理来制备超净硅表面的技术已经发生了重大的变化。这些变化的驱动因素是对生产高性能、可靠性和成本更高的先进硅器件的不断增长的需求。了解表面污染和缺陷,以及颗粒粘附、沉积、测量和去除的作用,预计将推动未来几年的技术进步,从而促进产品的使用。
自固态器件技术诞生以来,衬底表面清洁在制造过程中的重要性就得到了人们的认识。杂质和化学污染物的出现深刻地影响半导体器件的效率、性能、产量和可靠性,从而导致微电子清洗设备在工业中的利用率增加。
晶圆清洗可以去除半导体表面的颗粒和化学污染,而不会对基板层造成任何重大损害。许多过程,包括等离子体,干物理,湿化学,气相和超临界流体方法用于实现这一目标,从而防止粗糙度和表面腐蚀。大量的设备可用于实现集成电路制造应用的各种工艺。
微电子清洁设备用于清洁HD驱动器、印刷电路板、光掩模、MEMS、硅片、平板显示器和复合半导体器件组件的写/读磁头。集成电路制造行业是主要用户之一,其中大部分制造过程都需要晶圆清洗。
微电子清洁需要各种技术来中和和消除污染和缺陷对元件的影响。它包括超临界流体,低温气溶胶,水,干,湿化学清洗。这些技术可用于成组处理晶圆片(称为批处理晶圆片)或单独处理晶圆片(称为单个晶圆片清洗)的设备中。
全球晶圆清洗设备市场的主要驱动力包括对平板电脑和智能手机的需求增长,转向单晶圆处理,以及半导体行业的增长。平板电脑和智能手机市场的巨大增长推动了半导体晶圆的需求,从而促进了晶圆清洗设备市场的增长。性能驱动集成电路市场已经强制向单晶片处理演变,这是另一个重要的驱动因素。
表面污染以被吸收的离子和元素、薄膜、离散粒子、微粒和被吸收的气体的形式存在。表面污染物膜和颗粒可分为离子材料、分子化合物和原子种。
分子化合物是由润滑剂、润滑脂、光阻剂、溶剂残留物和指纹或塑料储存容器浓缩有机蒸气形成的薄膜或颗粒。颗粒可能来自于设备、加工化学品、工厂操作、气体管道、晶圆处理和薄膜沉积系统中的空气粉尘。
从地理上看,全球晶圆清洗设备市场分为北美、欧洲、拉丁美洲、亚太、中东和亚洲。亚太地区是电子设备的主要制造商,以日本、韩国和台湾为主要国家。亚太地区在微电子清洁设备行业中也扮演了重要的角色,而北美在半导体设备市场上在过去几年也稳步增长。
晶圆清洁设备市场的主要公司包括Mei LLC,Lam Research Corporation,KLA Tencor Corp.,Inseto,FSI International,Falcon Process Systems,Inc。,Dainippon Screen MFG。Co.,Ltd。,清洁技术集团LLC,AXUSTechnologies,Axcelis Technology,Atmi Technology,AKRION Systems LLC,Solid State Equipment LLC,Semsyco,其他设备包括Sems Co. Ltd,Quantumclean,PVA Tepla AG,Onboard Solutions Pvt Ltd.,Mei LLC,Lam Research Corporation,Eight Engineers Systems,Inc。,Ultron Systems,Inc。,东京电子,Strobausch,Stoelting LLC,SpeedLine Tech。